層流壓差式MFM/MFC的核心工作原理，是依托哈根-泊肅葉定律，通過內(nèi)置精密層流元件強(qiáng)制氣體形成穩(wěn)定層流狀態(tài)，利用高靈敏度壓差傳感器捕捉元件兩端壓力差，結(jié)合內(nèi)置溫度、壓力傳感器的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)補(bǔ)償算法，實(shí)現(xiàn)氣體質(zhì)量流量的精準(zhǔn)測(cè)量與閉環(huán)控制。與傳統(tǒng)熱式流量設(shè)備相比，該技術(shù)無需依賴氣體熱物理屬性，受氣體組分、環(huán)境溫度波動(dòng)及等離子體干擾的影響極小，且無易損耗熱絲元件，抗腐蝕、抗污染能力更強(qiáng)，從根源上適配PECVD工藝的復(fù)雜工況。陜西易度針對(duì)PECVD場(chǎng)景優(yōu)化產(chǎn)品參數(shù)，測(cè)量精度達(dá)±0.5%讀數(shù)，重復(fù)精度達(dá)±0.1%F.S.，量程覆蓋0.1sccm至5000slpm，可滿足從實(shí)驗(yàn)室小批量研發(fā)到工業(yè)級(jí)連續(xù)化生產(chǎn)的全場(chǎng)景需求。

        針對(duì)PECVD工藝多組分氣體配比難的核心痛點(diǎn)，陜西易度層流壓差式MFC內(nèi)置70余種氣體數(shù)據(jù)庫(kù)，可一鍵切換甲烷、乙炔等碳源前驅(qū)體，氬氣等載氣及各類稀釋氣體，無需重新標(biāo)定，大幅提升工藝切換效率。PECVD工藝中，等離子體功率需根據(jù)涂層需求動(dòng)態(tài)調(diào)制，對(duì)應(yīng)的氣體流量也需快速響應(yīng)調(diào)整，該設(shè)備毫秒級(jí)的響應(yīng)速度，可精準(zhǔn)追蹤流量設(shè)定點(diǎn)的階躍變化，避免因流量滯后導(dǎo)致涂層成分偏差，保障涂層性能的一致性。

        PECVD工藝中，碳源氣體熱解會(huì)產(chǎn)生納米顆粒，同時(shí)伴隨微量腐蝕性副產(chǎn)物，極易堵塞傳統(tǒng)流量設(shè)備的傳感器，導(dǎo)致頻繁停機(jī)校準(zhǔn)。陜西易度優(yōu)化層流元件結(jié)構(gòu)，采用機(jī)械流道設(shè)計(jì)，抗污染能力顯著提升，可有效避免碳顆粒堵塞問題，校準(zhǔn)周期長(zhǎng)達(dá)2-3年，大幅減少工藝停機(jī)維護(hù)時(shí)間與生產(chǎn)成本。同時(shí)，設(shè)備采用SUS316L不銹鋼流道與氟橡膠密封設(shè)計(jì)，可耐受工藝中微量腐蝕性氣體的侵蝕，低壓損設(shè)計(jì)可避免氣流擾動(dòng)影響反應(yīng)腔室內(nèi)的等離子體狀態(tài)，保障氣體以層流形式均勻覆蓋基材表面，進(jìn)一步提升涂層均勻性。目前，該系列設(shè)備已廣泛應(yīng)用于燃料電池雙極板DLC涂層PECVD生產(chǎn)線，有效降低涂層厚度均勻性誤差，優(yōu)化雙極板界面接觸電阻，延長(zhǎng)部件使用壽命。

        此外，陜西易度層流壓差式MFM/MFC配備數(shù)字與模擬雙重通訊接口，可無縫融入PECVD工藝的自動(dòng)化控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)流量參數(shù)的實(shí)時(shí)采集、遠(yuǎn)程調(diào)控與數(shù)據(jù)追溯，提升生產(chǎn)智能化水平。相較于進(jìn)口同類設(shè)備，其在保持相近性能指標(biāo)的同時(shí)，具備更高的性價(jià)比與更快捷的本地化技術(shù)支持，可根據(jù)客戶個(gè)性化工藝需求定制流量控制方案，為PECVD工藝的精細(xì)化、規(guī)模化發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。